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產品資料

無塵干燥箱

無塵干燥箱
  • 如果您對該產品感興趣的話,可以
  • 產品名稱:無塵干燥箱
  • 產品型號:PVC
  • 產品展商:Lab Companion 宏展
  • 產品文檔:無相關文檔
簡單介紹
無塵干燥箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
產品描述

無塵干燥箱

 

無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

 

一.無塵干燥箱用途:
PVC
無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

 

二.無塵干燥箱特點:
1.
在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*佳溫度控制精度。

三.無塵干燥箱產品技術參數(shù):

1.主要技術指標:
   
無塵等級:Class 100;                   溫度范圍: 60~ +300℃;
 
  溫度均勻度:200℃±4℃;             溫度波動度:±0.5℃(空載)        
   
溫控精度:±0.1℃;                        工作尺寸:W800×D600×H1300         
  
 電源:380v , 50Hz,15KW         網板:2塊(高度可調節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA
過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。*小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制
1
模式20步驟,*多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數(shù)在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

 

型號 

溫度范圍

內容積

其它參數(shù)

內尺寸
W×H×Dmm

外尺寸
W×H×Dmm

PVC-178

(RT+60)+200

178L

潔凈度:100

580×530×580

770×1,280×1,025

PVC-380

(RT+60)+200

380L

潔凈度:100

580×1130×580

770×1,880×1,025

PVC-678

(RT+60)+200

678L

潔凈度:100

800×1130×750

1,030×1,880×1,025

PVHC-178

(RT+60)+350

178L

潔凈度:100

580×530×580

770×1,280×1,025

PVHC-380

(RT+60)+350

380L

潔凈度:100

580×1,130×580

770×1,880×1,025

PVHC-678

(RT+60)+350

678L

潔凈度:100

800×1,130×750

1030×1,880×1,210

PVHC-347MS

(RT+60)+300

347L

潔凈度:100

580×1,130×530

770×1,880×1,025

PVHC-633MS

(RT+60+300

633L

潔凈度:100

800×1,130×700

1,030×1,880×1,210

 

2、箱體結構:
   
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
   箱體材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
   內膽材料:采用上等SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
 
  中桶材料:采用上等SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng):
   
采用臺灣“宣榮”CAHO溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定,**度±0.3%FS。;
   訊號來源:采用PT100熱電阻±0.5%。
   輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。

4、完善的**保護措施:
漏電斷路器、     控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示   逆向防止器、       門面**開關

5、選購設備(需另外收費):
   
可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

 

注:無塵等級和尺寸可根據(jù)要求定制。   


        宏展擁有一個專業(yè)從事環(huán)境試驗設備研發(fā)的科研機構,具備成熟的環(huán)試研制手段與試驗室,聚集了行業(yè)內一批優(yōu)良的各類人才和知名專家,強大的研發(fā)團隊**著國內環(huán)試技術發(fā)展方向.現(xiàn)目前公司具有自主知識產權的高低溫試驗箱、高低溫濕熱試驗箱、快速溫度變化試驗箱、冷熱沖擊試驗箱、三綜合試驗箱、高低溫低氣壓試驗箱、太陽輻射試驗箱、工業(yè)烤箱以及步入式高低溫濕熱試驗箱和高風速淋雨試驗箱等氣候環(huán)境試驗設備及訂制產品處于國內**、國際高水準。 


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